Επισκόπηση φωτοευαίσθητου υλικού
Το φωτοευαίσθητο υλικό, επίσης γνωστό ως φωτοευαίσθητο, αναφέρεται σε ένα υλικό λεπτής μεμβράνης του οποίου η διαλυτότητα αλλάζει όταν εκτίθεται σε υπεριώδη ακτινοβολία, δέσμες ηλεκτρονίων, δέσμες ιόντων, ακτίνες Χ ή άλλη ακτινοβολία.
Αποτελείται από μια ρητίνη, έναν φωτοεκκινητή, έναν διαλύτη, ένα μονομερές και άλλα πρόσθετα (βλ. Πίνακα 1). Η φωτοευαίσθητη ρητίνη και ο φωτοεκκινητής είναι τα πιο σημαντικά συστατικά που επηρεάζουν την απόδοση του φωτοευαίσθητου υλικού. Χρησιμοποιείται ως αντιδιαβρωτική επίστρωση κατά τη διάρκεια της φωτολιθογραφικής διαδικασίας.
Κατά την επεξεργασία ημιαγωγικών επιφανειών, η χρήση ενός κατάλληλα επιλεκτικού φωτοευαίσθητου υλικού μπορεί να δημιουργήσει την επιθυμητή εικόνα στην επιφάνεια.
Πίνακας 1.
| Συστατικά φωτοευαίσθητου υλικού | Εκτέλεση |
| Διαλυτικό μέσο | Κάνει το φωτοευαίσθητο υλικό ρευστό και πτητικό και δεν έχει σχεδόν καμία επίδραση στις χημικές του ιδιότητες. |
| Φωτοεκκινητής | Είναι επίσης γνωστό ως φωτοευαισθητοποιητής ή φωτοσκλήρυνσης και είναι το φωτοευαίσθητο συστατικό σε φωτοευαίσθητο υλικό. Είναι ένας τύπος ένωσης που μπορεί να αποσυντεθεί σε ελεύθερες ρίζες ή κατιόντα και να ξεκινήσει χημικές αντιδράσεις διασύνδεσης σε μονομερή μετά την απορρόφηση υπεριώδους ή ορατής φωτεινής ενέργειας ενός ορισμένου μήκους κύματος. |
| Ρητίνη | Είναι αδρανή πολυμερή και λειτουργούν ως συνδετικά υλικά για να συγκρατούν τα διαφορετικά υλικά σε ένα φωτοευαίσθητο υλικό μαζί, δίνοντάς του τις μηχανικές και χημικές του ιδιότητες. |
| Μονομερές | Είναι επίσης γνωστά ως ενεργά αραιωτικά, είναι μικρά μόρια που περιέχουν πολυμερίσιμες λειτουργικές ομάδες και είναι ενώσεις χαμηλού μοριακού βάρους που μπορούν να συμμετέχουν σε αντιδράσεις πολυμερισμού για να σχηματίσουν ρητίνες υψηλού μοριακού βάρους. |
| Πρόσθετος | Χρησιμοποιείται για τον έλεγχο των συγκεκριμένων χημικών ιδιοτήτων των φωτοανθεκτικών υλικών. |
Τα φωτοανθεκτικά υλικά ταξινομούνται σε δύο κύριες κατηγορίες με βάση την εικόνα που σχηματίζουν: θετική και αρνητική. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας φωτοανθεκτικού υλικού, μετά την έκθεση και την εμφάνιση, τα εκτεθειμένα τμήματα της επικάλυψης διαλύονται, αφήνοντας τα μη εκτεθειμένα τμήματα. Αυτή η επικάλυψη θεωρείται θετική φωτοανθεκτική. Εάν τα εκτεθειμένα τμήματα παραμείνουν ενώ τα μη εκτεθειμένα τμήματα διαλύονται, η επικάλυψη θεωρείται αρνητική φωτοανθεκτική. Ανάλογα με την πηγή φωτός έκθεσης και την πηγή ακτινοβολίας, τα φωτοανθεκτικά υλικά κατηγοριοποιούνται περαιτέρω ως UV (συμπεριλαμβανομένων των θετικών και αρνητικών φωτοανθεκτικών UV), φωτοανθεκτικά βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας (DUV), φωτοανθεκτικά ακτίνων Χ, φωτοανθεκτικά δέσμης ηλεκτρονίων και φωτοανθεκτικά δέσμης ιόντων.
Το φωτοευαίσθητο υλικό χρησιμοποιείται κυρίως στην επεξεργασία λεπτόκοκκων μοτίβων σε οθόνες, ολοκληρωμένα κυκλώματα και διακριτές ημιαγωγικές συσκευές. Η τεχνολογία παραγωγής του φωτοευαίσθητου υλικού είναι πολύπλοκη, με μεγάλη ποικιλία τύπων προϊόντων και προδιαγραφών. Η κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων της ηλεκτρονικής βιομηχανίας επιβάλλει αυστηρές απαιτήσεις για το φωτοευαίσθητο υλικό που χρησιμοποιείται.
Η Ever Ray, ένας κατασκευαστής με 20 χρόνια εμπειρίας που ειδικεύεται στην παραγωγή και ανάπτυξη φωτοπολυμεριζόμενων ρητινών, διαθέτει ετήσια παραγωγική δυναμικότητα 20.000 τόνων, μια ολοκληρωμένη σειρά προϊόντων και τη δυνατότητα προσαρμογής των προϊόντων. Στο φωτοευαίσθητο υλικό, η Ever Ray έχει ως κύριο συστατικό τη ρητίνη 17501.
